مستقبل برميل الجرافيت المطلي بطبقة SiC

مُستقبِل أسطوانة رقاقة الجرافيت المُغطاة بطبقة SiC هو المادة الاستهلاكية الأساسية لمعدات النمو الطلائي للسيليكون، ويجمع تصميمه بين الموصلية الحرارية العالية للجرافيت ومقاومة التآكل الفائقة لطلاءات SiC. الركيزة هي جرافيت سيجلي عالي النقاء (نقاء ≥ 99.9995%)، مُشكَّل بعملية ضغط متوازنة. ترسب طلاء β-SiC بكثافة 50 ميكرومتر على السطح بواسطة عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD). يمنع هذا الطلاء بفعالية إطلاق الشوائب من مصفوفة الجرافيت في درجات الحرارة العالية (1200-1800 درجة مئوية) والغازات العدوانية (مثل SiH).₄C₃H₈، و H.₂)، مما يُجنّب تلوث الرقاقة. تصميم الأسطوانة (للمعدات مقاس 4/6/8 بوصة): من خلال تحسين مسار تدفق الهواء وتوزيع المجال الحراري، يتم التحكم في تجانس سمك الطبقة الفوقية ضمن ±1.5%، وتُخفّض كثافة العيوب إلى أقل من 0.05 سم.^-2بالإضافة إلى ذلك، فإن معامل التمدد الحراري لطلاء SiC ومصفوفة الجرافيت متطابقان بدرجة كبيرة (4.5×10^-6/K مقابل 4.8×10^-6(ك/ك)، مما يُجنّب تشقق الطلاء أو تساقط الجسيمات الناتج عن الإجهاد الحراري المرتفع، ويضمن تشغيلًا مستقرًا طويل الأمد للمعدات. استُخدم هذا المكوّن في خط إنتاج طبقة الرقائق البلورية (الإبيتاكسي) لدى أبرز مُصنّعي أشباه الموصلات في الصين، مما أدى إلى انخفاض تكلفة طبقة الرقائق البلورية أحادية الفرن بنسبة 40%، وزيادة إنتاجية الجهاز إلى 98%.

نوع البرميل القابل للمقارنة مع المستقبِل الفطيرة

يستخدم في عملية ترسيب السيليكون/ترسيب البخار الكيميائي.

يتم استخدام هذا المنتج بشكل رئيسي في أجهزة LPE أو CVD التقليدية (مثل أنظمة Aixtron المبكرة).

مقاومة بيئة التآكل الشديدة: طلاء β-SiC مقاوم للتآكل البلازمي والأكسدة، وعمره أطول بخمس مرات من عمر الجرافيت غير المطلي.

التحكم الدقيق في المجال الحراري: يقلل هيكل البرميل من الاضطرابات، وتتوافق الموصلية الحرارية مع الركيزة، وتتجنب فشل الإجهاد الحراري.

خطر التلوث صفر: ركيزة وطلاء عالي النقاء للغاية، ومحتوى الشوائب المعدنية (Fe، Al) < 0.1 جزء في المليون.

خدمة العملية الكاملة: دعم معالجة المصفوفة، وترسيب الطلاء، واختبار الأداء والتسليم في مكان واحد.