أجزاء الكوارتز

لا يزال الكوارتز مستخدماً على نطاق واسع في معالجة أشباه الموصلات. صحيح أنه ليس جديداً، ولكنه موثوق، ومعظم مصانع أشباه الموصلات على دراية بخصائصه. طالما يتم التحكم في نقائه، فإنه يؤدي وظيفته بكفاءة في مراحل الانتشار والأكسدة والتنظيف.

تُستخدم العديد من قطع الكوارتز في أنظمة الأفران أو أدوات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD). ويُتوقع منها بشكل أساسي الاستقرار، ليس بالضرورة عمرًا طويلًا، بل أداءً يمكن التنبؤ به. وهذا عادةً ما يكون كافيًا للعديد من العمليات القياسية.

بالطبع، للكوارتز حدوده. فقد يتآكل أسرع في ظروف معينة، خاصةً بالمقارنة مع كربيد السيليكون. ولكن نظرًا لسهولة الحصول عليه نسبيًا وانخفاض سعره، لا يزال الناس يستخدمونه بكثرة.