سيراميك SiC

تُستخدم سيراميكات كربيد السيليكون (SiC) بشكل متزايد في معدات أشباه الموصلات، ويعود ذلك أساسًا إلى قدرتها العالية على تحمل الظروف القاسية. فعندما ترتفع درجة الحرارة أو تصبح العملية أكثر قسوة، تبدأ مواد مثل الكوارتز أو السيليكون في إظهار حدودها، وهنا تبرز أهمية كربيد السيليكون. في عمليات الأفران، كالأكسدة أو الانتشار، تميل الأجزاء المصنوعة من كربيد السيليكون، مثل عوامات الرقائق أو المجاديف، إلى أن تدوم لفترة أطول. فهي تحافظ على شكلها ولا تُسبب تلوثًا يُذكر، حتى بعد فترات تشغيل طويلة. ولذلك، غالبًا ما يتم استبدال الكوارتز بهذه المواد، خاصةً عندما تصبح الصيانة متكررة للغاية.

في عمليات الحفر، يُختار كربيد السيليكون (SiC) غالبًا نظرًا لقدرته على تحمل البلازما لفترة أطول. ويُلاحظ فرق العمر الافتراضي مقارنةً بمكونات السيليكون في العديد من التطبيقات، مع العلم أن ذلك يعتمد على العملية المستخدمة. كما يُسهم كربيد السيليكون في تحسين التحكم بالجسيمات، الذي تزداد حساسيته مع تصغير حجم العُقد. ويُستخدم أيضًا كطبقة امتصاص في عمليات الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD) أو الترسيب الكيميائي للبخار (CVD). في هذه الحالات، لا يُركز على "المتانة" بقدر ما يُركز على الحفاظ على استقرار درجة الحرارة. بالإضافة إلى ذلك، يُستخدم كربيد السيليكون في مكونات حجرة الترسيب مثل البطانات ورؤوس الرش، وأحيانًا في مكونات المناولة أيضًا.