سخان الجرافيت المغطى بـ SiC لـ MOCVD

تفاصيل المنتجات

يجمع سخان MOCVD المصنوع من الجرافيت المطلي بـ SiC بين التوصيل الحراري الممتاز للجرافيت ومقاومة درجات الحرارة العالية والتآكل لطلاءات SiC، ويُستخدم على نطاق واسع في معدات الترسيب الكيميائي للبخار المعدني العضوي (MOCVD) لضمان الاستقرار والنقاء العالي في عمليات نمو طبقة الرقاقة.

ميزات منتج سخان MOCVD المصنوع من الجرافيت المغطى بـ SiC

1. نقاء فائق واستقرار كيميائي

النقاء ≥99.99995%: يتم تحضير سخان الجرافيت الخاص بنا تحت الكلورة عالية الحرارة من خلال عملية الترسيب الكيميائي للبخار، والتي تتجنب بشكل فعال تلوث الشوائب المعدنية وتلبي الطلب على البيئات فائقة النظافة في تصنيع أشباه الموصلات.

مضاد للتآكل الكيميائي: يمكن لطبقة SiC الكثيفة والعالية الصلابة (صلابة فيكرز 2500-2800) مقاومة تآكل الأحماض والقلويات والأملاح والمذيبات العضوية، مما يطيل عمر خدمة المعدات في بيئة الغاز المسببة للتآكل.

2. مقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية

استقرار درجة الحرارة العالية: يمكنه تحمل ما يصل إلى 3000 درجة مئوية في جو خامد، وتشغيل مستقر حتى 2200 درجة مئوية في بيئة الفراغ، و1600-1700 درجة مئوية في بيئة الأكسدة، وهو مناسب للظروف القاسية لغرفة تفاعل MOCVD.

معامل التمدد الحراري المنخفض (4.5 × 10-⁶K-¹): تعمل هذه الميزة في سخان الجرافيت MOCVD على تقليل تشقق الطلاء أو تقشيره بشكل فعال بسبب التغيرات في درجات الحرارة، مما يضمن سلامة الهيكل في ظل الدورة الحرارية طويلة الأمد.

3. تحسين أداء الإدارة الحرارية

الموصلية الحرارية العالية (200-300 واط/متر كلفن): تحدد الموصلية الحرارية العالية لسخان Graphite MOCVD أن المنتج يمكنه نقل الحرارة بسرعة وبشكل متساوٍ لتحقيق توزيع ثابت لدرجة حرارة سطح الرقاقة (±1 درجة مئوية)، وبالتالي تحسين توحيد الطبقة الطبقية بشكل فعال.

تصميم حقل تدفق الغاز الرقائقي: بعد التكرار المستمر للتكنولوجيا والترقية، تضمن نعومة سطح سخان MOCVD (Ra ≤ 0.8μm) وتحسين الهندسة توزيعًا موحدًا للغازات التفاعلية وتقلل من عدم تجانس الترسيب الناجم عن الاضطرابات.

مقارنة المعلمات الفنية والمزايا

لماذا Semixlab؟

التخصيص: تلتزم شركة Semixlab بتوفير منتجات وخدمات فنية مخصصة لعملائنا. ندعم تخصيص الأحجام غير القياسية (حتى قطر 360 مم) وسمك الطلاء (20-500 ميكرومتر) لتلبية احتياجات مجموعة واسعة من المعدات.

الشهادة العالمية: سخان الجرافيت المغطى بـ SiC الخاص بنا متوافق مع معايير SEMI، وحاصل على شهادة ISO 9001، ويتم تصدير منتجاتنا بشكل أساسي إلى أوروبا والولايات المتحدة، بالإضافة إلى اليابان وكوريا الجنوبية، مع ميزة كبيرة في السعر والأداء.

التآزر التقني: حافظت شركة Semixlab منذ فترة طويلة على تعاون وثيق مع مؤسسات البحث الرائدة في الصين، باستخدام تقنيات الطلاء الحاصلة على براءة اختراع (مثل عملية SiC³ من CGT Carbon) لتحسين كثافة الطلاء ومقاومة الصدمات الحرارية.